PVD真空鍍膜設(shè)備蒸發(fā)系統(tǒng)主要指成膜裝置部分，PVD鍍膜機(jī)的成膜裝置很多，PVD鍍膜有電阻加熱、射頻濺射、離子鍍等多種方式。
下面介紹PVD鍍膜電阻加熱和電子槍蒸發(fā)的方式：
PVD鍍膜電阻蒸發(fā)根據(jù)其結(jié)構(gòu)和工作原理是目前為止應(yīng)用最多，PVD鍍膜最廣泛的蒸發(fā)方式，PVD鍍膜也是應(yīng)用時(shí)間最長(zhǎng)的蒸發(fā)方式。
PVD鍍膜的工作方式是：
PVD鍍膜將鎢片做成船狀，然后安裝在兩個(gè)電極中間，再熱傳導(dǎo)給PVD鍍膜材料，當(dāng)鎢舟的熱量高于PVD鍍膜材料熔點(diǎn)的時(shí)候，材料就升華或者蒸發(fā)了，PVD鍍膜由于操作方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉。PVD鍍膜電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用最多的一種蒸發(fā)方式，PVD鍍膜可以蒸發(fā)任何一種PVD鍍膜料。
將鍍膜材料放在坩堝里面，PVD鍍膜將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，PVD鍍膜由于燈絲的材料是鎢，形成了一股電子束，PVD鍍膜由于電子束溫度非常高，PVD鍍膜可以熔化任何鍍膜藥材凝結(jié)下來(lái)。
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