為盡量減小真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動(dòng)件固定于一個(gè)剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空前，參照有限元計(jì)算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償量，以使其在真空狀態(tài)下達(dá)到平衡。而這樣的真空設(shè)計(jì)也使得現(xiàn)在的真空鍍膜機(jī)就能夠讓鍍膜在真空環(huán)境下正常進(jìn)行，防止外界因素的影響。
而為了驗(yàn)證有限元計(jì)算的結(jié)果，對(duì)真空室的形變和補(bǔ)償進(jìn)行了測(cè)試。首先將四只千分表定位在工作臺(tái)安裝基點(diǎn)的真空壁外側(cè)，當(dāng)真空室由大氣抽到真空時(shí)，記錄各千分表的變化量，經(jīng)歸一化處理后為用激光自準(zhǔn)直儀調(diào)整形變補(bǔ)償。由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺(tái)上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，記錄兩維角度偏差。這些數(shù)據(jù)之后需要對(duì)其進(jìn)行分析處理，得到測(cè)試結(jié)果。
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