真空高溫軸承在真空鍍膜機方面的應用
真空高溫軸承在臥式蒸發(fā)真空鍍膜機方面的應用
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
我們詳細介紹真空軸承在蒸發(fā)式真空鍍膜機上的應用，蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。 對于濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。
軸承安裝部位如圖片所示管軸的兩端，內(nèi)部數(shù)十個類似的安裝單元。由于機體內(nèi)溫度較高，普通軸承難以承受數(shù)百攝氏度高溫真空工作環(huán)境，油脂潤滑、石墨潤滑的軸承產(chǎn)品在高溫真空環(huán)境內(nèi)運轉過程中會帶來油脂和石墨粉塵的污染，同時軸承短時間報廢，導致產(chǎn)品的生產(chǎn)不合格。
我司所設計此款高溫軸承，結合實際工作環(huán)境，采用高溫自潤滑的工作方式；通過長期驗證達到了壽命長，免維護，潔凈度高，不會帶來污染，由此保證該機的正常運轉。產(chǎn)品安裝更換簡單，大大的提高了機器的運轉時間和效率，減少了機器維護保養(yǎng)得次數(shù)和保養(yǎng)成本。
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