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真空高溫軸承在臥式蒸發(fā)真空鍍膜機方面的應(yīng)用

作者:溫州馳誠真空機械有限公司  來源:http://www.fsjutong.com  更新時間:2016-3-1 13:43:10  點擊次數(shù):

真空高溫軸承在臥式蒸發(fā)真空鍍膜機方面的應(yīng)用
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
我們詳細(xì)介紹真空軸承在蒸發(fā)式真空鍍膜機上的應(yīng)用,蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。
軸承安裝部位如圖片所示管軸的兩端,內(nèi)部數(shù)十個類似的安裝單元。由于機體內(nèi)溫度較高,普通軸承難以承受數(shù)百攝氏度高溫真空工作環(huán)境,油脂潤滑、石墨潤滑的軸承產(chǎn)品在高溫真空環(huán)境內(nèi)運轉(zhuǎn)過程中會帶來油脂和石墨粉塵的污染,同時軸承短時間報廢,導(dǎo)致產(chǎn)品的生產(chǎn)不合格。
我司所設(shè)計此款高溫軸承,結(jié)合實際工作環(huán)境,采用高溫自潤滑的工作方式;通過長期驗證達到了壽命長,免維護,潔凈度高,不會帶來污染,由此保證該機的正常運轉(zhuǎn)。產(chǎn)品安裝更換簡單,大大的提高了機器的運轉(zhuǎn)時間和效率,減少了機器維護保養(yǎng)得次數(shù)和保養(yǎng)成本。

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